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SIGA GmbH

Kesselbodenstr. 4b
85391 Allershausen
Tel.: 08166 - 994407
Fax: 08166 - 995400
Email: info@sigagmbh.de
WWW: http://www.sigagmbh.de

SIGA entwickelt und baut kundenspezifische Systeme zum Messen, Regeln und Steuern von Gasflüssen und zum Verdampfen und Dosieren flüssiger Precusor ergänzt von Precursor Versorgungssystemen.

Mit unseren Gassystemen können Sie ein Gas oder viele Gase oder Precursor dosieren und diese einer oder mehreren Gebrauchsstellen zuführen. Ergänzt werden die Systeme von einer rechnergestützten Steuerung mit Hard- und Software. Die Auslegung erfolgt nach Ihren Wünschen auf der Grundlage unserer Erfahrung.

Zum Einsatz kommen Massenflussregler MFCs, Ventile, Filter, Drucksensoren, Temperaturfühler, etc. Anwendungsgebiet ist überall dort wo Gase in Fertigungsprozessen eingesetzt werden, z.B. zum Abscheiden dünner Schichten CVD.

Systeme von SIGA:

•Precursor Verdampfer:

-Verdampfer für einen Precursor
-Verdampfer für 2 oder mehr Precursor
-Flüssigdosierung mit anschliessender Verdampfung

•Precursor Versorgungssysteme
•Gasmischsysteme
•Reinstgassysteme
•AKF-Beladestationen
•Brennersysteme

Für weitere ausführliche Informationen besuchen Sie uns bitte auf unserer Homepage. Natürlich stehen wir Ihnen auch gerne persönlich zur Verfügung.